在半導(dǎo)體及液晶面板行業(yè)超純水制程中,離子交換因其對(duì)TOC以及二氧化硅、硼等離子優(yōu)秀的脫除能力而被廣泛應(yīng)用。
預(yù)過濾水從活性炭過濾器出來后,即被導(dǎo)入陽、陰離子交換器由陽離子交換器的頂部流向底部;此陽離子交換器內(nèi)填裝有強(qiáng)酸性陽樹脂,包含鈣、鎂、鈉、銨根等陽離子在此與氫離子(H+)進(jìn)行置換。
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